重生归来我誓登权力巅峰第291章 中微与南大光电联合实验室正式揭牌

一个月后中微与南大光电联合实验室正式揭牌。

这是星城半导体创新中心成立后的第一个重大项目李一凡特意参加了揭牌仪式。

“这个实验室的使命很明确。

”李一凡在讲话中说“就是要通过光刻机和光刻胶的良好创新在28nm制程上实现技术突破。

这不仅关系到企业的发展更关系到整个产业链的自主可控。

” 威廉姆斯博士和王立新作为联合实验室的双主任详细介绍了目前的研发进展。

“光学系统已经完成初步设计。

”威廉姆斯调出了一组数据“在分辨率、精度等关键指标上都达到了28nm制程的基本要求。

现在的难点是稳定性这需要配合光刻胶的特性进行优化。

” “我们也取得了重要进展。

”王立新说“最新研发的光刻胶在几个关键指标上都突破了：感光度提升了30%线宽均匀性控制在2nm以内这些都是达到28nm制程要求的基础。

” 领导陈启明问道：“两个团队怎么配合？” “我们采用双组长制。

”威廉姆斯解释说“每一个课题都由光刻机和光刻胶团队的专家共同负责。

比如在光学系统优化时光刻胶团队就提供了很多关键参数帮助我们调整光路设计。

” “反过来也是。

”王立新补充道“光刻机团队的光强分配数据指导我们优化光刻胶配方。

这种良好的创新模式效果很好。

” 李一凡对这种合作方式很满意。

他清楚地记得以前世界上很多企业各自为战导致技术创新效率低下。

现在有了省里500亿的支持正好可以推动产业和谐。

“人才团队组建得怎么样？”他问道。

“目前联合实验室有120人。

”威廉姆斯说“其中博士32人包括5位海归专家。

但在某些关键岗位还存在缺口比如光学系统设计、材料界面控制等领域的高端人才。

” 市委组织部长何国庆立即表态：“人才引进要特事特办。

对急需的专家可以启动‘一事一议’。

待遇政策对比关键是解决他们的后顾之忧。

” “已经在行动了。

”市人社局局长杨国强说“我们在硅谷、东京等地设立了招才引智工作站。

目前正在和几位顶尖专家接洽其中包括三名日本光刻机领域的资深工程师。

” “人才建设也要跟上。

”市住建局局长汇报“专家公寓一期工程年底交付可提供200套高品质保障。

国际学校持续加紧建设明年秋季能如期开学。

” 这个时候中微公司的技术团队传来了一个好消息：光学系统的核心部件已经加工性能测试达到预期。

这意味着28nm光刻机的工程样机有望提前完成。

“具体什么时候能出工程机？”李一凡问道。

“按照目前的进度明年一季度末就能完成。

”威廉姆斯说“比原计划提前了三个月。

这主要得益于光刻胶团队的配合他们提供的测试数据帮助我们节省了大量调试时间。

” “工程机提前完成是个好消息”王立新说“我们的光刻胶轮转速也加快了。

目前对28nm制程的光刻胶已经进行了第三次优化核心指标非常稳定。

” “详细讲述优化的结果。

”李一凡对这些技术细节很感兴趣。

“最大的突破在三个方面。

”王立新打开实验数据“首先是感光性能能量曝光降低了25%这对提升光刻机的工作效率很关键。

其次是均衡性偏差控制在1.8nm以内最后这直接影响良率。

是储存稳定性在常温下可以保存3个月不变质。

” “储存性能很重要。

”威廉姆斯点头说道“这意味着我们的产品可以批量供应给客户而不必担心运输和存储问题。

在日本企业的光刻胶中能达到这个水平的也不少。

” 市科技局局长刘青松问道：“这些技术有自主知识产权吗？” “当然。

”王立新说“我们已经申请了12项核心专利其中4项是和中微的联合专利。

这些专利完全覆盖了28nm制程中的关键技术点。

” 李一凡对这种合作模式很满意：“这就是我们想要的和谐创新。

不是简单的下游满足而是在核心技术上形成合力。

省里给我们500亿投资就是要支持这样的创新模式。

” 正说完成时南大光电的中试车间传来消息：第一批批量产型光刻胶样品制备各项指标全部达标。

这批样品将用于中微光刻机的工程验证。

“产能建设也要提速了。

”王立新说“我们产业园的一期工程明年3月就能完成。

设计产能是月产5吨完全能满足前期的市场需求。

” “上游材料供应有保障吗？”市经信局局长张志强询问。

“这是我要汇报的。

”王立新说“我们已经和几家本土的材料企业达成了合作。

电子级偶联剂、光敏剂、偶联液等关键原材料全部自主供应。

这对保证产业链安全很重要。

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